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MPG400 、 MPG401INFICON 反磁控皮拉尼真空计
MPG400 、 MPG401
INFICON 反磁控皮拉尼真空计
INFICON 倒置磁控管皮拉尼真空计 MPG400 和 MPG401 测量范围为 5 x 10-9 毫巴至大气压(3.8 x 10-9 托至大气压)。 将多项技术融入到一个带一个对数模拟输出信号的紧凑型装置中,显著降低了安装、设置和集成的复杂性。

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  • 产品概述
  • 详细参数
  • 资料下载

益处

  • 复合真空计 – 倒置磁控管与皮拉尼
  • 测量范围广,从 5 x 10-9 毫巴到大气压
  • 不会出现单丝烧毁的现象
  • 卓越的点火属性
  • 易于清洁
  • FPM 或金属密封馈入装置
  • 高压 LED 指示灯
  • 对数模拟输出信号

典型应用

  • 高真空压力监控
  • 蒸发系统和溅射系统的基本压力
  • 中高真空范围内的一般真空测量和控制





    规格

    类型

    MPG400 FPM sealed

    MPG401 metal-sealed

    测量范围(空气,N2

    5 x 10-9 … 1000 

    5 x 10-9 … 1000 

    精度 (N2)

     

     

    1 x 10-8 … 100 毫巴

    % of reading

    ≈±30%

    ≈±30%

    可重复性

     

     

    1 x 10-8 … 100 毫巴

    % of reading

    ≈±5%

    ≈±5%

    安装定位

    any

    any

    容许压力

    bar (absolute)

    10 (limited to inert gases)

    10 (limited to inert gases)

    容许温度

     

     

    运行(环境)

    °C

    +5 … +55

    +5 … +55

    贮存

    °C

    40 … +65

    40 … +65

    烘烤 (1)

    °C

    150

    150

    单丝温度(皮拉尼)

    °C

    120

    120

    电源电压

     

     

    真空计上

    V (dc)

    +15 … +30

    +15 … +30

    缆线最长的电源装置 (2)

    V (dc)

    +16 … +30

    +16 … +30

    波纹

    V (p-p)

    1

    1

    功耗

    W

    2

    2

    可连接的保险丝

    AT

    1

    1

    输出信号(测量信号)

     

     

    电压范围

    V

    … +10.5

    … +10.5

    测量范围

    V

    +1.82 … +8.6

    +1.82 … +8.6

    电压与压强

    logarithmic, 0.6 volts per decade

    logarithmic, 0.6 volts per decade

    错误信号

     

     

    无电源

    V

    <0.5

    <0.5

    皮拉尼传感器,单丝断裂

    V

    >9.5

    >9.5

    输出电阻

    2 x 10

    2 x 10

    最小负载电阻

    k

    10, short-circuit proof

    10, short-circuit proof

    反应时间

     

     

    p > 10-6 毫巴

    ms

    <10

    <10

    p = 10-8 毫巴

    ms

    1000

    1000

    识别真空计

    85, referenced to supply common

    85, referenced to supply common

    状态

     

     

    仅皮拉尼模式

    V

    0 (low)

    0 (low)

    复合皮拉尼 冷阴极模式

    V

    15 … 30 (high)

    15 … 30 (high)

    LED

    LED green

    high voltage on

    high voltage on

    电气连接

    FCC 68 appliance connector, 8 poles, female

    FCC 68 appliance connector, 8 poles, female

    传感器电缆

    8 poles plus shielding

    8 poles plus shielding

    电缆长度

    m

    50 (8 x 0.14 mm2)

    50 (8 x 0.14 mm2)

    运行电压

    kV

    3.3

    3.3

    运行电流

    µA

    500

    500

    暴露于真空的材料

    stainless steel, Al2O3, FPM75, Mo, Ni, Au, W

    stainless steel, Al2O3, Ag, Cu, Sn, Mo, Ni, Au, W

    内部容积

    cm³

    20

    20

    重量

     

     

    DN 25 ISO-KF

    g

    700

    730

    DN 40 ISO-KF

    g

    720

    750

    DN 40 CF-F

    g

    980

    1010

    保护类别

    IP 40

    IP 40

    标准

     

     

    CE 合规

    EN 61000-6-2, EN 61000-6-3, EN 61010-1

    EN 61000-6-2, EN 61000-6-3, EN 61010-1

    1) 没有电子和磁遮蔽。

    2) 必须根据传感器电缆的长度按比例增加电源的最低电压。


零件号

MPG400 FPM sealed

零件号

说明

351-010 

MPG400 真空计

351-011 

MPG400 DN 40 ISO-KF

351-012 

MPG400 DN 40 CF-F

MPG401 metal-sealed

零件号

说明

351-020 

MPG401 DN 25 ISO-KF

351-021 

MPG401 DN 40 ISO-KF

351-022 

MPG401 DN 40 CF-F

351-023 

磁屏蔽

附件

MPG400 FPM sealed

零件号

说明

351-023 

磁屏蔽

MPG401 metal-sealed

零件号

说明

351-023 

磁屏蔽

备件

MPG400 FPM sealed

零件号

说明

351-994 

MPG40X 点火单元

351-995 

起辉器

351-998 

维修包

351-999 

维修保养套件

MPG401 metal-sealed

零件号

说明

351-994 

MPG40X 点火单元

351-995 

起辉器

351-996 

MPG401 Repair set

351-997 

MPG401 Maintenance set

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